多晶炉石墨加热板是真空电阻炉的核心部分。其质量直接影响炉子的性能和运行成本。热场的设计是多种多样的。具体设计方案主要基于对工艺流程的具体分析。大多数真空电阻炉的热场由四个主要部件组成:加热器及其连接部件、隔热部件(或反射屏)、热场支撑部件和工件支承炉膛。由于材料问题或使用时间问题，这些配件经常需要定期更换。在什么情况下需要更换石墨加热场配件，在什么情况下需要清洗？ 

1、检查石墨配件有无裂纹，特别是石墨坩埚、石墨托盘、石墨坩埚杆有无裂纹，如有裂纹应立即向车间主管汇报，并做出更换，对有沾硅的地方应做出判断或向车间业主汇报。班组长应负责在预期使用寿命前使用5台炉前进行检查和评审。车间主管应负责在预期使用寿命前使用5台炉后进行检查和评审。

2.石墨配件使用寿命到期后，石墨配件(石墨托盘、坩埚棒、石墨坩埚)等因逾期使用而可能造成重大损失的部件应首先拆除，并更换新的。更换的石墨配件应密封。单晶车间、技术部门和生产部门应在搬运前进行联合检查。应仔细检查加热器、保温管和导流管等其他配件，看是否有微小裂纹和缺陷。原则上，如果没有这种缺陷，这些石墨配件可以继续使用。带闷炉的石墨热场配件应做详细记录。

3.发生事故时，应详细记录单晶石墨热场配件。有问题的石墨配件应做详细记录，并放在指定的地方，以防混淆。